Материал

Диапазон температуры (° C)

Ключевые свойства

Приложения

FFKM

- От 15 до +327

Исключительное химическое, плазменное и термическое сопротивление

Плазменное травление, сердечно -сосудистые терапии, мокрый травление, резистовые стриптизерши

Пероксид - Вылеченная FKM

- От 20 до +200

Хорошее сопротивление растворителям, улучшенная чистота

Обратно - Конечная упаковка, вакуумная обработка

Модифицированный PTFE (заполненный или энергичный)

- От 200 до +260

Не - эластомерный, химически инертный, низкий уровень частиц

Обработка пластин, оборудование CMP

Высокая - чистота epdm

- 50 до +150

Отличная устойчивость к кислотам, DI Water, Ozone

Влажная очистка, ванны травления, газовые линии

Силикон (низкий - кровотечение, низкая - волатильность)

- 60 до +230

Гибкий, чистый и термически стабильный

Нагрузочные замки, вакуумные уплотнения, фотолитография