재료

온도 범위 (° C)

주요 속성

응용 프로그램

ffkm

- 15 ~ +327

뛰어난 화학, 혈장 및 열 저항

플라즈마 에칭, CVD/PVD, 젖은 에칭, 스트리퍼에 저항합니다

과산화물 - 경화 된 FKM

- 20 ~ +200

좋은 용매 내성, 개선 된 청결

뒤로 - 엔드 포장, 진공 취급

수정 된 PTFE (충전 또는 에너지)

- 200 ~ +260

비 - 엘라스토머, 화학적으로 불활성, 낮은 입자 생성

웨이퍼 처리, CMP 장비

높은 - 순도 EPDM

- 50 ~ +150

산, DI 물, 오존에 대한 우수한 저항

습식 청소, 에칭 욕조, 가스 라인

실리콘 (저 - 출혈, 낮은 - 변동성)

- 60 ~ +230

유연하고 깨끗하며 열적으로 안정적입니다

로드 잠금, 진공 씰, 포토 리소 그래피