अर्धचालक

सेमीकंडक्टर विनिर्माण वातावरण अल्ट्रा की मांग करता है। स्वच्छ, रासायनिक रूप से प्रतिरोधी, और थर्मल रूप से स्थिर ओ - रिंग सामग्री। सामने का उपयोग किया गया सील - अंत और पीछे - अंत प्रक्रियाओं को कम आउटगासिंग, कण पीढ़ी, और प्लाज्मा प्रतिरोध के लिए सख्त आवश्यकताओं को पूरा करना चाहिए - प्रक्रिया शुद्धता और उपज अखंडता के लिए।

सामग्री	तापमान सीमा	मुख्य गुण	अनुप्रयोग
फौजदारी	- 15 से +327	असाधारण रासायनिक, प्लाज्मा और थर्मल प्रतिरोध	प्लाज्मा नक़्क़ाशी, सीवीडी/पीवीडी, गीला ईच, स्ट्रिपर्स का विरोध करें
पेरोक्साइड - ठीक है fkm	- 20 से +200	अच्छा विलायक प्रतिरोध, बेहतर स्वच्छता	वापस - अंत पैकेजिंग, वैक्यूम हैंडलिंग
संशोधित PTFE (भरा या ऊर्जावान)	- 200 से +260	गैर - इलास्टोमेरिक, रासायनिक रूप से अक्रिय, कम कण पीढ़ी	वेफर हैंडलिंग, सीएमपी उपकरण
उच्च - शुद्धता EPDM	- 50 से +150	एसिड, डीई पानी, ओजोन के लिए उत्कृष्ट प्रतिरोध	गीली सफाई, ईच स्नान, गैस लाइनें
सिलिकॉन (कम - ब्लीड, कम - अस्थिरता)	- 60 से +230	लचीला, साफ और थर्मल रूप से स्थिर	लोड ताले, वैक्यूम सील, फोटोलिथोग्राफी